半導體工藝廢氣處理方式

依據廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:

1水洗式(處理腐蝕性氣體)

2氧化式(處理燃燒性,毒性氣體

3吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應之廢氣

4等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)

各類型之處理皆有其優缺點及其適用范圍.如表一所示.

處理方式 適用范圍 優點 缺點

水洗時 設備便宜處理方式簡單 僅能處理水溶性氣體

電熱水洗式 應用范圍較水洗時廣 運轉成本高

干式 處理效率佳 不適用于容易堵塞或氣體流量較大的工藝;運轉成本高 等離子式 處理效率佳 成本高,不適用于粉塵過多之工藝，

其中 （1）水洗式廢氣處理是最便宜的簡單的處理方式,但只能處理水溶性氣體;目前這類設備用得相當廣泛，如MOCVD，PECVD，ICP等設備用NH3 Cl2，BCL3都用得到.

(2)氧化式廢氣處理則是利用高溫(火焰燃燒或者熱電偶加熱),使氣體達到氧化所需溫度,轉變為沒有危害性之氣體再排放,應用范圍較水洗式廣泛,但建造成本及運轉成本也較水洗式高;此類設備在PECVD上用得很廣泛，如用到SiH4，PH3，B2H6，H2 ，CH4甚至NF3都可用此類設備處理。

(3)吸附式則依照所需處理的廢氣種類,使用不同材質的吸附料,讓廢氣通過吸附劑轉變為沒有危害性的氣體再排放,此類系統的廢氣處理效率佳,但由于吸附劑讓氣體通過的通道由孔隙大小的限制,以及每組吸附劑都有其吸附處理的極限流量,因此不適用于容易堵塞或者氣體流量較大的工藝中,而導致吸附劑需經常更換,使運轉成本更高;

(4)等離子式,其廢氣處理范圍最廣,處理效率佳,唯獨其成本較高,且同樣不適用于粉塵過多之工藝.

深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應用系統工程的高新技術企業，公司成立于2011年，注冊資金2180萬；專業為客戶提供大宗氣體系統、電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、高純化學品供液系統、Local Scrubber尾氣處理系統等全套工程技術服務和配套產品的一站系統解決方案，公司于2018年榮獲“國家高新技術企業”認定。