隨著現在半導體行業、實驗室和工業綜合廠房的不斷發展，高純電子特氣系統被廣泛應用。GR特氣架、GC特氣柜在這些行業里成為了標配，很容易見到。

高純電子特氣系統輸送的氣體，是特氣，具有腐蝕、劇毒等性質的危險性氣體，那它的特氣設備的配置、使用有哪些規范呢？

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統，按類別分全自動、半自動和手動操作。基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時）。

咱們下面以沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）為例，全自動特氣柜以PLC為控制主體，配合觸摸屏進行系統顯示和設定，搭配不同的盤面設計，以滿足太陽能、半導體行業需求。

特氣系統設備GC配置規范:

1.GC應配置作業用氣體面板。

2.氣柜應有帶機械鎖的自關閉的柜門，可實現自動關閉功能，并且配備防爆玻璃觀察窗，遞交螺栓設計應滿足當地地震設防烈度的要求。

3.氣瓶柜在柜門關閉時，氣瓶柜內部是處于負壓狀態，而且不得低于100Pa，還有柜內的排風換氣的頻率不能低于300次/H。

4.報警偵測警報功能齊全。

5.氣瓶柜的板材需要有防腐蝕涂層，且板材厚度不得低于2.5mm。

6.急停按鈕應位于控制面板上

對于有特殊需求的客戶，WOFLY特氣柜可能需配備一些其他的安全裝備，比如：氣柜里安裝噴淋頭，在氣體下游流量過大是報警的過流開關，需要安裝溫度開關的可燃氣體系統等，具體的配置是根據需求發生改變的。

以上，就是特氣系統里的特氣設備，GC特氣柜一些基礎配置規范啦。感謝您的閱讀！