深圳沃飛科技有限公司成立于2011年，公司注冊資金2180萬，是一家專業從事氣體應用系統工程：電子特氣管道系統、實驗室管道供氣系統、工業集中供氣系統、Local Scrubber尾氣處理系統、大宗氣體（液體）系統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統，提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配套產品銷售于一體的高新技術企業；擁有GC2壓力管道安裝資質、機電安裝工程承包資質。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業；為客戶提供高純工藝系統整體解決方案

Local Scrubber廢氣處理特性

半導體工藝中常使用的化學物質及其副產物,一般依照其化學特性與其不同的影響范圍,可分為:
1.易燃性氣體如SiH4、H2等
2.毒性氣體如AsH3、PH3等
3.腐蝕性氣體如HF、HCl等
4.溫室效應氣體如CF4、NF3等

由于以上四種氣體對環境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導體廠都以加裝大型中央廢氣處理系統.但此系統僅以水洗滌廢氣.故其應用范圍僅限于處理水溶性氣體,無法因應日新月異且分工細微的半導體工藝廢氣.因此必須依據各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對應的廢氣處理設備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區域多半離中央廢氣處理系統前,常因氣體特性導致管路中結晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導致氣體泄漏,嚴重者甚至引起爆炸,無法確保現場工作人員之工作安全.因此在工作區域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設備(Local Scrubber),以減少在工作區域滯留的廢氣,確保人員安全。

半導體工藝廢氣處理方式
依據廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:
1、水洗式(處理腐蝕性氣體)
2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體
3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應之廢氣）
4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)

Scrubber尾氣處理裝置可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。