因使用環境、行業領域等的不同，高純工藝系統會以不同的形式呈現，在泛半導體行業中，常用的高純工藝系統便是超高純電子特氣系統（以下簡稱特氣系統）。

特氣系統被泛半導體行業廣泛應用的原因？

半導體行業的不斷發展，對高純特種氣體的需求越來越大、要求越來越嚴格。在生產中，高純特種氣體直接影響產品的好壞、生產率和良品率。

但特種氣體大都具有有毒、易燃易爆、高腐蝕性、高氧化性等性質，如H2Se、SIH4、CL2、NF3等，因此如何安全、穩定、可靠地貯存和輸送高純特種氣體呢？特氣系統工程應運而生。

特氣系統的設計理念——安全！

在特氣系統設計之初，“安全”的設計理念便已貫穿其中，在特氣系統工程的設計安裝、操作和維護都有相應的標準操作規程。比如：特氣系統的相關操作人員需要經過專業的特氣設備操作維護運行及異常處理的專業培訓后方可上崗作業。

因為特氣事故的發生是非常危險和可怕的。

特氣系統的組成部分？

特氣系統是通過設備、氣體管道和閥門部件從供氣源為終端的使用設備，安全穩定的輸送高純氣體的高純氣體工藝系統。

在特氣系統工程中最具代表性的設備便是沃飛特氣柜了，沃飛特氣柜的負壓系統、氣體偵測報警系統、自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷等功能都在很大程度上保障了氣體的純度、使用安全和穩定供氣。

以上，就是常用于泛半導體行業中的超高純電子特氣系統工程的一些設計理念和系統組成上的簡單介紹，感謝您的閱讀！