隨著半導(dǎo)體行業(yè)突飛猛進(jìn)的發(fā)展，人們對(duì)在半導(dǎo)體制造業(yè)中產(chǎn)生的大量有腐蝕性有毒易自燃危害環(huán)境的氣體處理和尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）提出了更高的要求。

在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中，將某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi)，使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率，以制造電阻、PN結(jié)、埋層等的工序被稱為摻雜工藝。摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體，是一種混合氣，主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。

含氟化合物廢氣的危害性

含氟化合物的廢氣尾氣，需經(jīng)尾氣處理設(shè)備處理后方可排出，否則會(huì)對(duì)周邊人員和環(huán)境造成很大的危害。如氟化氫（HF）有強(qiáng)烈的刺激和腐蝕作用，可通過(guò)呼吸道粘膜、皮膚和腸道吸收,對(duì)人體全身產(chǎn)生毒性作用。氟能和人本骨骼和血液中的鈣結(jié)合，從而導(dǎo)致氟骨病。長(zhǎng)期暴露在低濃度的氫氟酸蒸氣中，可引起牙齒酸蝕癥，使牙齒粗糙無(wú)光澤，易患牙齦炎。當(dāng)空氣中HF濃度為0.03-0.06mg/m3時(shí)，兒童牙斑釉患病率明顯增高。HF的慢性中毒可造成鼻粘膜潰瘍、鼻中隔穿孔等，還可引起肺纖維化。高濃度的HF能引起支氣管炎和肺炎。

吸附式尾氣處理設(shè)備

吸附式尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）幾乎能處理所以小流量的廢氣，是半導(dǎo)體廠常用的尾氣處理設(shè)備，吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開(kāi)其他過(guò)程難以分開(kāi)的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

以上，就是關(guān)于半導(dǎo)體制程中摻雜工藝中含氟化合物的廢氣如果未經(jīng)處理排放對(duì)人體和環(huán)境危害性和尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀！