在半導(dǎo)體、集成電路、太陽(yáng)能光伏、液晶、微電子等行業(yè)領(lǐng)域中，特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠(chǎng)中危險(xiǎn)性重大的設(shè)施或場(chǎng)所。特種氣體是有著易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險(xiǎn)性質(zhì)的氣體，一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員、廠(chǎng)房、設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p失。

如特種氣體中的硅烷(SiH4)為自燃性，一旦泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng)，開(kāi)始燃燒。砷烷為劇毒性，微量泄漏就可能導(dǎo)致人員的生命危險(xiǎn)。因此，對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全性要求十分嚴(yán)格，其中關(guān)于氣體檢測(cè)報(bào)警系統(tǒng)的設(shè)置是十分有必要的，避免氣體泄露等危險(xiǎn)發(fā)生。

特種氣體檢測(cè)裝置種類(lèi)：

(1) 自燃性、易燃性氣體檢測(cè)采用催化燃燒型檢測(cè)裝置、半導(dǎo)體檢測(cè)裝置、電化學(xué)檢測(cè)裝置。

(2) 毒性氣體檢測(cè)采用電化學(xué)檢測(cè)裝置。

(3) 根據(jù)使用場(chǎng)所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴(kuò)散式檢測(cè)裝置、單點(diǎn)或多點(diǎn)吸人式氣體檢測(cè)裝置。

特種氣體檢測(cè)裝置的安裝位置規(guī)定：

1. 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處；

2. 生產(chǎn)工藝設(shè)備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處，工藝設(shè)備的排風(fēng)管口處；

3. 生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處；

4. 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域；

5. 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設(shè)備間；

6. 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

7. 當(dāng)特種氣體相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，特種氣體探測(cè)器應(yīng)同時(shí)設(shè)置在釋放源上方和廠(chǎng)房最高點(diǎn)易積氣處。當(dāng)特種氣體相對(duì)密度大于0.75 時(shí)，特氣體探測(cè)器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.3m~0. 5m處。

以上，便是關(guān)于特種氣體輸送系統(tǒng)中氣體檢測(cè)報(bào)警裝置的安裝位置的簡(jiǎn)單介紹，希望能您帶來(lái)幫助，感謝您的閱讀，更多氣體資訊敬請(qǐng)關(guān)注我們！