半導(dǎo)體制程生產(chǎn)中會用到大量的有毒腐蝕性易燃的特殊氣體、化學(xué)品和有機(jī)溶劑等原材料，這些物質(zhì)所產(chǎn)生的廢氣在冗長的排氣過程中，因其氣體性質(zhì)可能會引發(fā)風(fēng)管堵塞、管路腐蝕等，導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故，所以應(yīng)先在就近的小型尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）進(jìn)行處理，后再進(jìn)入中央處理系統(tǒng)處理。

小型尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）根據(jù)處理廢氣方式，大致分四類：水洗式、氧化式、吸附式和等離子燃燒式，今天給大家介紹的是吸附式尾氣處理設(shè)備，和該設(shè)備中設(shè)計、結(jié)構(gòu)和功能上的“安全”。

吸附式尾氣處理設(shè)備設(shè)計上： 

1、小型尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）設(shè)計初衷是為了查漏補(bǔ)缺和應(yīng)急使用，保護(hù)環(huán)境和人員安全。

2、以吸附桶完全處理設(shè)備尾氣，確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害；

3、在無塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源，沒有明火，可以減少事故的發(fā)生；

吸附式尾氣處理設(shè)備結(jié)構(gòu)上：

1、PLC 觸控面板設(shè)計和人機(jī)接口控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。

2、全面監(jiān)控：各管路進(jìn)、出口設(shè)計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設(shè)備運(yùn)行時各種狀況，隨時監(jiān)控，避免泄漏等事故的發(fā)生。

3、尾氣出口處：安裝變頻風(fēng)機(jī)，可根據(jù)進(jìn)出口壓力，調(diào)整風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，避免廢氣回流，保護(hù)系統(tǒng)及設(shè)備安全。

4、指示劑：配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑，替代傳統(tǒng)電化學(xué)計。

尾氣處理設(shè)備功能中：

半導(dǎo)體制造生產(chǎn)的廢氣對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性，必須防止其直接排放大氣中，所以一般半導(dǎo)體廠都會加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng)。但由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)遠(yuǎn)，常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏，嚴(yán)重者甚至引起爆炸，無法確保現(xiàn)場工作人員之工作安全。因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)，以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。

以上，便是關(guān)于吸附式尾氣處理設(shè)備中設(shè)計理念、結(jié)構(gòu)組成和功能作用上的“安全”介紹，今天就到這了，感謝您的閱讀！