WOFLY全自動特氣柜（GC）是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性特種氣體供應而設計的特氣設備，通過SEMI S2認證，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發時），主要用于安全穩定輸送特種氣體。

現在我們來認識一下沃飛WOFLY特氣柜上的一些主要組成部分：

1. 氣動閥氣源：一般以GN2來進行控制，不建議使用CDA（clean dry air），因GN2的供應系統比較穩定，不會因停電或運轉設備故障而中斷，此氣源是用于自動或半自動的氣動閥件開關。

2. 手動控制閥：主要用于第二道防護作為第二次確認或檢修用，一般于供應氣體的出口端。

3. 逆止閥(單向閥)：防止特氣倒灌到清潔用的PN2（高純氮）系統和抽氣用的GN2（普氮）系統。

4. 調壓閥：用于調整供應系統的供應壓力。

5. 壓力傳感器：是防護系統中非常重要的零件，透過它我們可以判斷管路是否泄漏，相關閥件是否正常開關，同時亦可檢知鋼瓶的剩余量。

6. 真空產生器：利用GN2快速流動產生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達抽氣的目的?！?/span>

7. 氣體過濾器：一般在鋼瓶出口端會裝比較粗的過濾器，在出端會裝比較細的過濾器，有效過濾氣體中的顆粒，過濾器較不易吹掃,所以一般不建議裝在常吹掃的管路中。

8. 過流量偵測器：對管路異常流量進行偵測，若是超過設定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進而關閉供應系統停止供氣。

9. 限流孔：是一種簡易又有效的過流量控制裝置，用以限制大量氣體流過，一般使用于出口處，其主要功用是避免大量的特殊氣體排出，區域性的廢氣處理機無法處理的情況發生。

以上，就是關于超高純電子特氣系統中沃飛WOFLY特氣柜的主要組成部分的介紹了，感謝您的閱讀，沃飛科技， 專業從事氣體系統工程！