高純氣體管路的設計，所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。高純氣體管路的設計選哪家?

深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應用系統解決方案：電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、大宗氣體（液體）系統、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務。下面我們一起來看看吧，希望對大家有所幫助。

管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經電解拋光處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患。現在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。

以上就是我們簡單介紹的POU工藝氣體管路設計思路，希望能給大家提供參考。